
主营产品:
光源、电子计测、检测仪器、半导体产品、新能源产品
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产品分类
更新时间:2026-08-17
浏览次数:50成立:2020‑12‑21(集团业务起源 2015 年)
法人 / 实控人:辛长林
注册资本:6222.2447 万元
统一社会信用代码:91320509MA24CCU38E
注册地址:苏州市吴江区江陵街道富家路 777 号
状态:在业,一般纳税人;参保约 140 人
融资阶段:E 轮,累计数亿元;机构包含中芯聚源、京东方显智链、基石创投、和利资本、维信诺基金等
定位:半导体刻蚀设备真空腔体核心零部件、稀土陶瓷涂层、零部件再生国产化厂商,国家潜在独角兽、高新、省级专精特新企业
三大主线:精密零部件制造、Y₂O₃/Al₂O₃等离子喷涂涂层、零部件再生修复、稀土陶瓷粉体
半导体刻蚀腔体零部件
硅部件、隔热垫片、金属腔体件,适配 LAM、TEL、中微 AMEC 刻蚀机
特种陶瓷涂层(核心壁垒)
氧化钇 (Y₂O₃)、氧化铝喷涂粉末及 APS/PVD 涂层;解决刻蚀腔体耐等离子腐蚀,提升晶圆良率
面板设备件
LCD/OLED 干刻下部电极、静电吸盘 ESC,含新品制造 + 旧件再生
HTCC 高温陶瓷、稀土陶瓷基体零部件
超精密再生服务:腔体零部件化学清洗、修复翻新
下游:晶圆厂、半导体设备厂、显示面板厂(京东方、维信诺等)
吴江产业化基地:半导体材料 & 精密涂层件研发中心,建成后年产 10 万件以上零部件
池州基地:半导体关键材料智能化产线投产(2025)
合肥高芯众科材料科技:稀土新材料、陶瓷零部件
与迈为股份合资:苏州芯鑫微精密科技
2024:国家高新技术企业
2025:国家潜在独角兽企业、江苏省专精特新中小企业、瞪羚企业
张利:40 + 张利,聚焦陶瓷粉体、喷涂工艺、腔体零部件加工再生