SONIC索尼克 超声波液体流量计(传感器分离型)

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产品详细介绍

SONIC索尼克  超声波液体流量计μLF - 300S(传感器分离型)

μLF - 300(集成型)μLF-300对于IPA,纯水,化学溶液等半导体制造工艺中的微小区域的流量控制

1毫升/分钟的微流量测量

通过数字信号处理高精度测量微小流量

传感器部分具有非接触结构

宽范围

产品规格

μLF-300S(传感器分离型)

模型 μLF - 300 S +μLT - 8 I(1/8英寸)或μLF - 300 S +μLT - 4 I(1/4英寸)
测量原理 超声波传播时间差分法
待测液体 纯净水,各种化学液体
*除了水以外的液体,请事先确认
自适应流体温度范围 15℃至80℃
*请在60℃以上使用时事先确认
流体压力 0.5MPa以下
流体动力粘度 100立方公尺/秒以下
流量范围 0毫升/分钟至1000毫升/分钟(μLF-300S +μLT-8I)
0毫升/分钟至4000毫升/分钟(μLF-300S +μLT-4I)
测量精度 ±0.5%RD(1/8英寸:200至1000毫升/分钟条件:室温,恒温水)
±1毫升/分钟(1/8英寸:0至199毫升/分钟)
±0.5%RD(1/4英寸:800至4000毫升/分钟条件:室温,恒温水)
±4毫升/分钟(1/4英寸:0至799毫升/分钟)
重复性 ±0.2%(纯液,液温±0.5℃,平均30秒)
电源 DC 24 V±10%
功耗 3.6 W或更少
重量 转换器240g,检测部70g
尺寸W x H x D(mm) 传感器97 x 49 x 127
检测部分90 x 25 x 20(不包括管)
检测单元
管材料 PFA(氟树脂)
管直径 1/8英寸外径:3.17mm,ID:2.17mm,1/4英寸外径:6.35mm,内径:4.35mm
结构 相当于IP65
包括电缆 5米,连接器连接
I / O单元
数字输入/输出 4线RS-422,4线RS-485
模拟输出 4-20 mA(瞬时流量),负载电阻500Ω或更小
集成脉冲输出 1个频道(集电极开路)
报警输出 1个频道(集电极开路)
联系人输入 1通道(零流量设定或积分清除)
重点输入 4输入按钮