SONIC索尼克 超声波液体流量计(一体式)

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产品详细介绍

SONIC索尼克超声波液体流量计

μLF - 300(集成型)μLF-300对于IPA,纯水,化学溶液等半导体制造工艺中的微小区域的流量控制

1毫升/分钟的微流量测量

通过数字信号处理高精度测量微小流量

传感器部分具有非接触结构

 

宽范围

μLF-300(一体式)

一个转换器
模型 μLF-308I(1/8英寸)或μLF-304I(1/4英寸)
测量原理 超声波传播时间差分法
测量液体 水,水溶液,油,各种化学液体
*除了水以外的液体,请事先确认
自适应流体温度范围 10℃〜60℃
* 60℃以上请事先确认
环境温度范围 温度:0°C至50°C(不结露)
流量范围 0毫升/分钟至1000毫升/分钟(μLF-308I)
0毫升/分钟至4000毫升/分钟(μLF-304I)
测量精度 ±1%RD(1/8英寸:200至1000毫升/分钟,在水的情况下为室温)
±2毫升/分钟(1/8英寸:0至199毫升/分钟)
±1%RD(1/4英寸:800至4000毫升/分钟,在水的情况下为室温)
±8毫升/分钟(1/4英寸:0至799毫升/分钟)
重复性 ±0.2%(液体温度±0.5℃,平均30秒)
响应 10毫秒
结构 室内规格(相当于IP65)
电源 DC 5 V±10%
功耗 1.5 W或更少
重量 350克(仅限人体)
检测单元
管材料 PFA(氟树脂)
管直径 1/8英寸外径:3.17mm,ID:2.17mm,1/4英寸外径:6.35mm,内径:4.35mm
输出单位
串口 4线RS-422
通信协议 数据位固定8位,偶校验固定,停止位1位固定
波特率 38400波特
串行输出数据内容 瞬时流量值,累计流量值,错误代码