SONIC索尼克 超声波液体流量计(一体式)
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- SONIC索尼克 超声波液体流量计(一体式)
- SONIC索尼克
- μLF - 300
- 日本
- 电议
产品详细介绍
SONIC索尼克超声波液体流量计
μLF - 300(集成型)μLF-300对于IPA,纯水,化学溶液等半导体制造工艺中的微小区域的流量控制
从1毫升/分钟的微流量测量
通过数字信号处理高精度测量微小流量
传感器部分具有非接触结构
宽范围
μLF-300(一体式)
一个转换器 | ||
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模型 | μLF-308I(1/8英寸)或μLF-304I(1/4英寸) | |
测量原理 | 超声波传播时间差分法 | |
测量液体 | 水,水溶液,油,各种化学液体 | |
*除了水以外的液体,请事先确认 | ||
自适应流体温度范围 | 10℃〜60℃ | |
* 60℃以上请事先确认 | ||
环境温度范围 | 温度:0°C至50°C(不结露) | |
流量范围 | 0毫升/分钟至1000毫升/分钟(μLF-308I) | |
0毫升/分钟至4000毫升/分钟(μLF-304I) | ||
测量精度 | ±1%RD(1/8英寸:200至1000毫升/分钟,在水的情况下为室温) | |
±2毫升/分钟(1/8英寸:0至199毫升/分钟) | ||
±1%RD(1/4英寸:800至4000毫升/分钟,在水的情况下为室温) | ||
±8毫升/分钟(1/4英寸:0至799毫升/分钟) | ||
重复性 | ±0.2%(液体温度±0.5℃,平均30秒) | |
响应 | 10毫秒 | |
结构 | 室内规格(相当于IP65) | |
电源 | DC 5 V±10% | |
功耗 | 1.5 W或更少 | |
重量 | 350克(仅限人体) | |
检测单元 | ||
管材料 | PFA(氟树脂) | |
管直径 | 1/8英寸外径:3.17mm,ID:2.17mm,1/4英寸外径:6.35mm,内径:4.35mm | |
输出单位 | ||
串口 | 4线RS-422 | |
通信协议 | 数据位固定8位,偶校验固定,停止位1位固定 | |
波特率 | 38400波特 | |
串行输出数据内容 | 瞬时流量值,累计流量值,错误代码 |